本发明提供在从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序对成形材料进行加压的冲压装置及冲压方法中,不使液压回路变得复杂而能实现加压时的节能化,并且还能够良好地进行低压区域的加压控制的冲压装置或冲压方法。在从泵(21)向加压用液压缸(14)供给工作油并通过3分钟以上的加压工序(H)而对成形材料(P)进行加压的冲压装置(11)中,设有通过伺服马达(20)或变频控制马达能够控制转速且能够变更排出量的泵(21),控制上述泵(21)并通过包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序(B、D)的加压工序(H)对成形材料(P)进行加压。
1.一种冲压装置,从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序而对成形材料进行加压,其特征在于,设有通过伺服马达或变频控制马达能够控制转速且能够变更排出量的泵,对设定液压和泵的设定转速进行设定,以使上述泵在上述设定转速下进行工作,若液压传感器到达规定的检测值,则进行压力控制优先的闭环控制以使上述泵的转速下降、或者使上述泵的排出量减少或停止,并通过包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序的加压工序而对成形材料进行加压。
2.根据权利要求1所述的冲压装置,其特征在于,未在上述泵与上述加压用液压缸之间配置压力控制阀或流量控制阀,通过上述泵的伺服马达或变频控制马达的转速的控制和排出量的控制,对加压用液压缸的工作油进行控制。
3.一种冲压方法,从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序而对成形材料进行加压,其特征在于,设有通过伺服马达或变频控制马达能够控制转速且能够变更排出量的泵,对设定液压和泵的设定转速进行设定,以使上述泵在上述设定转速下进行工作,若液压传感器到达规定的检测值,则进行压力控制优先的闭环控制以使上述泵的转速下降、或者使上述泵的排出量减少或停止,并通过包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序的加压工序而对成形材料进行加压。
4.根据权利要求3所述的冲压方法,其特征在于,上述成形材料是包含脆性材料或加热到软化点以上的温度的树脂材料的成形材料。技术领域
本发明涉及从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序而对成形材料进行加压的冲压装置及冲压方法。
背景技术
以往,作为用于电路板等的层压的热压装置,已知专利文献1至专利文献3所记载的装置等。用于电路板等的层压的热压机其加压工序的时间长,一般在较短的情况下为3分钟~30分钟,在标准的情况下为30分钟~2小时,在较长的情况下为2小时~5小时。因此,大多采用将热板做成多层结构而能够一次性地对多个成形材料进行加压的装置。而且,由于用于电路板等的层压的热压装置其加压工序的时间长,因此有时还以减少加压时间内的有关加压的耗电量而实现节能化作为目的。在专利文献1中,作为液压机构的液压源,具有大容量泵和小容量泵,利用大容量泵和小容量泵进行可动盘的上升,在热板封闭后停止大容量泵的工作,仅利用小容量泵进行加压。但是,就专利文献1而言,不仅液压配管或阀的配置变得复杂,而且由于在加压时间内持续使小容量泵旋转,所以无法得到在节能化方面感到满意的结果。而且,由于泵总是旋转,从而还存在油温上升的问题和产生噪音的问题。另外,在专利文献1中,使用电磁溢流阀进行压力控制,但是尤其在低压区域无法高精度地进行控制。因此,专利文献1的装置在对太阳能电池用的层压板中的包含玻璃等脆性材料的成形材料、多层基板的二次冲压装置等包含加热到软化点以上的温度的树脂材料的成形材料、以及在快速施加强压时容易产生空隙的成形材料等,需要低压加压的成形材料进行冲压成形的情况下,无法在低压区域进行良好的加压控制。作为上述问题的对应方案,在专利文献2中公开了用于良好地控制低压区域的压接力的热压装置。专利文献2通过在压接用的液压缸上连接减压液压缸而使用,能够以低于泵压力的液压来控制压接力。但是,在对比文件2中,与对比文件1同样,不仅液压配管和阀的配置变得复杂,而且由于在加压时间内小容量泵持续旋转,因此无法得到在节能化方面感到满意的结果。另一方面,在专利文献3中公开了通过电动伺服马达的旋转而直接进行加压的热压装置。专利文献3由于使用伺服马达,因此推测其能够良好地进行低压区域的加压控制。但是,在专利文献3中,在加压时间长的情况下,需要使伺服马达以比较高的转矩持续驱动,因此伺服马达的负载成为问题,若选择与上述负载对应的伺服马达,则需要使用非常大型的伺服马达,因而存在成本上升的问题。而且,需要使伺服马达在加压工序期间总是驱动,因此有时未必能实现节能化。现有技术文献专利文献1:日本特开2003-200300号公报(权利要求1、图1)专利文献2:日本特开2003-166501号公报(权利要求1、图1)专利文献3:日本特开昭62-146608号公报(权利要求1、第一图、第二图)
发明内容
在如上所述进行长时间的加压的热压装置中,不适用利用电动伺服马达的驱动力直接进行加压的以往的电动冲压装置,在以往的液压冲压装置中也分别存在节能化方面的问题。而且,尤其想要良好地进行低压区域的控制,则需要另外安装液压缸或阀,结构变得复杂。于是,在本发明中,提供在从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序对成形材料进行加压的冲压装置中,不使液压回路变得复杂而能实现加压时的节能化,并且还能够良好地进行低压区域的加压控制的冲压装置或冲压方法。本发明的方案1记载的冲压装置,从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序而对成形材料进行加压,其特征在于,设有通过伺服马达或变频控制马达能够控制转速且能够变更排出量的泵,控制上述泵并通过包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序的加压工序而对成形材料进行加压。本发明的方案2记载的冲压装置在方案1的基础上,其特征在于,未在上述泵与上述液压缸之间配置压力控制阀或流量控制阀,通过上述泵的伺服马达或变频控制马达的转速的控制和排出量的控制,对加压用液压缸的工作油进行控制。本发明的方案3记载的冲压方法,从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序而对成形材料进行加压,其特征在于,设有通过伺服马达或变频控制马达能够控制转速且能够变更排出量的泵,控制上述泵并通过包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序的加压工序而对成形材料进行加压。本发明的方案4记载的冲压方法在方案3的基础上,其特征在于,上述成形材料是包含脆性材料或加热到软化点以上的温度的树脂材料的成形材料。本发明的有益效果如下。本发明的从泵向加压用液压缸供给工作油并通过3分钟以上的加压工序而对成形材料进行加压的冲压装置及冲压方法,由于设有通过伺服马达或变频控制马达能够控制转速且能够变更排出量的泵,并且控制上述马达并通过包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序的加压工序而对成形材料进行加压,因此不使液压回路变得复杂而能够实现节能化,并且能够良好地进行低压区域的加压。
附图说明
图1是本实施方式的冲压装置的概略说明图。图2是表示相当于本实施方式的冲压方法的一个循环的加压控制的图。图3是表示本实施方式的冲压方法的主要在低压区域的加压工序中的泵的控制的图。图中:11-冲压装置,14-加压用液压缸,17-可动盘,18a、18b、18c-热板,20-伺服马达,21-泵,22-泵单元,24-偏转角控制用液压缸,25、32、37-电磁转换阀,27、30-控制装置,28-第一压力传感器,33-第二压力传感器,B-第一低压控制工序,D-第二低压控制工序,F-加压保持控制工序,H-加压工序。
具体实施方式
图1所示的冲压装置11是层压包含作为脆性材料的玻璃板的成形材料的用于成形太阳能电池的多层的冲压装置11。在图1中,冲压装置11的结构将其一部分省略而表示,下方的基盘12与其上方的上盘13之间用未图示的多个连接杆等连接。而且,在基盘12的下侧固定有加压用液压缸14,兼作加压用液压缸14的活塞的压头15固定在可动盘17的下表面上。加压用液压缸14是仅具有加压用油室14a的单作用液压缸。从而,使可动盘17通过从泵21向加压用液压缸14的加压用油室14a供给工作油而上升、加压。在上表面固定有热板18a的可动盘17与在下表面固定有热板18b的上盘13之间,以在下降时能够放置在未图示的支架上的方式配置有多个中间的热板18c。而且,在本发明中对热板18a、18b、18c的张数不设限制。热板18a、18b、18c是在上表面及下表面具有平行且平坦的冲压面18d的预定厚度的板体。而且,通过在热板内的未图示的流道中使蒸汽和冷却水或载热油和制冷油之类的载热体流通,或者通过设在热板内的电加热器与流动于流道中的冷却介质的流通的组合,能够自由地进行升温和降温。在冲压装置11上配置有作为检测可动盘17的下降结束位置和上升结束位置的检测机构的限位开关19a、19b。而且,冲压装置11配置在具备真空泵的真空室16内。以下对冲压装置11的加压用液压缸14的液压机构进行说明。如图1所示,本实施方式的液压机构的工作油的供给源是可利用伺服马达20控制转速、且可通过变更斜盘的偏转角而变更排出量的轴向活塞泵21(以下简称为泵21),整体构成泵单元22。泵21通过未图示的吸滤器与油箱23连接。规定泵21的排出量(活塞冲程)的斜盘的角度利用偏转角控制用液压缸24进行变更;偏转角控制用液压缸24利用电磁转换阀25可进行前进后退变更。另外,斜盘的角度可利用按照控制压力的比例转换阀26根据压力自动地进行调整。而且,上述电磁转换阀25由泵单元22的控制装置27进行转换控制。另外,在泵单元22上设有第一压力传感器28,所检测出的工作油的压力值传送到与第一压力传感器28连接的上述泵单元22的控制装置27。而且泵单元22的控制装置27与伺服马达20连接,从控制装置27向伺服马达20传送驱动信号。另外,检测伺服马达20的旋转的回转式编码器29与上述控制装置27连接,用于反馈伺服马达20的转速。而且,泵单元22的控制装置27与管理冲压装置11整体的控制装置30连接,从控制装置30接收指令信号。另外,利用控制装置27,基于泵单元22的流量指令值(偏转角的控制和伺服马达20的转速控制)和压力指令值(偏转角的控制和基于上述第一压力传感器28等的检测值的伺服马达20的转速控制)进行控制。另外,在从泵21向加压用液压缸14的加压用油室14a连接的主管路31上,设有电磁转换阀32。而且在主管路31(或者直接在加压用液压缸14上或在从主管路31分支的部分)上设有第二压力传感器33,加压用液压缸14的工作油的压力由第二压力传感器33检测,并传送到与第二压力传感器33连接的控制装置30。另外,从主管路31分支并向油箱23设有管路34,该管路34用于在使可动盘17等下降时使工作油返回油箱23。在管路34上设有带流量调整阀的液压控制单向阀35。另外,从主管路31分支的控制管路36与上述带流量调整阀的液压控制单向阀35连接,在该控制管路36的中途设有电磁转换阀37。在本实施方式中,在泵21与加压用液压缸14之间的主管路31、或者与主管路31连通的回路上未设置压力控制阀或流量控制阀。另外,除了泵单元22的液压机构主要利用上述三个阀32、35、37工作,未设置高价的伺服阀或与此类似的流量控制阀等,所以能够简化液压机构的结构。另外,就本发明的液压机构的带流量调整阀的液压控制单向阀35而言,也可以是仅具有简单地开闭管路34的功能的阀,对于其他阀而言,也可以使用具有相同功能的其他阀。另外,在本实施方式中,在压力上升了时,利用压力调整用的比例转换阀26调整斜盘的角度,从而来自泵21的工作油的排出量成为零,所以未设置溢流阀。但是,也可以另行安装溢流阀。另外,在控制转速的泵单元22的情况下,泵21不是总在工作而未将不需要的油向油箱23放泄,所以油温的上升是能够忽视的程度,也未设置油冷却器。以下对本实施方式的使用冲压装置11的冲压方法、尤其是太阳能电池的层压成形方法进行说明。利用本实施方式成形的太阳能电池是硅系的薄膜型,是Pin型的串联式。但是,本发明的冲压装置11还能够应用于其他类型的太阳能电池的层压工序。太阳能电池用的成形材料P是在玻璃基板上重叠了贴有太阳能电池元件的带元件玻璃、作为密封材料的PVB树脂或EVA树脂、作为保护薄膜的PET树脂的结构。这些成形材料P除了在热板18a、18c的一张冲压面18d上放置相当于一套上述组合的结构以外,作为一例还可以设想重叠放置3套至10套的结构。而且在放置时,也可以在与上下的冲压面18d接触的面或各套之间配置缓冲材料,在此情况下,在热板封闭时能够缓解冲击。但是,也可以不使用缓冲材料而直接放置。这些太阳能电池用的成形材料P的冲压成形通过至少包含进行泵21的控制,并且由加压用液压缸14的第二压力传感器33检测出的设定液压p1(压力指令值)为2MPa以下的低压区域的加压工序的3分钟以上的加压工序而进行。若在各热板18a、18c的冲压面18d上分别大致同时放置成形材料P则封闭真空室16,使真空泵工作而对真空室16内进行真空化(减压)。并且大致同时向热板内的通道内流通载热油或蒸汽等的载热体(若是在热板上装入电加热器的类型则对电加热器通电),使热板18a、18b、18c及成形材料P升温。如图2所示,最初的热板18a、18b、18c的温度为30°C~80°C,而通过加热,作为一例,使其升温至150°C,优选为120°C~200°C左右,更优选为130°C~170°C。随着热板18a、18c的温度上升,被放置的成形材料P因放置面的一侧先被加热而在热膨胀上产生差异,所以极少地发生翘曲。另外,在重叠多张而成套的情况下,在靠近热板18、18c的一侧和远离热板18、18c的一例产生热膨胀的差异。这些成形材料P的上下的热膨胀的差异,通过真空室16内的氛围温度的上升和向成形材料P整体的传热,在从放置到开始加压为止的时间(5~30分钟)内再次减小。当放置成形材料P并对真空室16进行了真空化时,加压用液压缸14的压头15的位置处于最下降位置,泵21的旋转已停止,各阀处于图1的状态。即泵21与加压用液压缸14的加压用油室14a之间的主管路31利用电磁转换阀32被连接,加压用液压缸14与油箱23之间的管路34被断开。然后,如图3所示,从控制装置30通过泵单元22的控制装置27输送信号而驱动伺服马达20并使泵21工作,经过主管路31向加压用液压缸14的加压用油室14a输送工作油,开始进行使压头15及可动盘17等上升的上升控制工序A。而且,与可动盘17的上升一起对中间的热板18c也从下方依次一层层地抵接而上升。如图3所示,在本实施方式中,上升控制工序A时的泵21的斜盘的偏转角被控制成大偏转角。而且,泵21被控制成作为一例其转速为2000rev/min。但是当使可动盘17等以高速上升时,如上所示泵21的转速被进行闭环控制,而可动盘17等的直接位置及速度未被检测,通过开环控制使可动盘17等上升。此时,由第一压力传感器28检测出的工作油的设定液压p1(压力指令值)被设定为2.0MPa(2MPa),但随着可动盘17等的上升而加压用油室14a的容积逐渐扩大,由电磁转换阀32引起的压力损失也大,所以加压用液压缸14侧的压力只有0.2MPa~0.3MPa左右。从而,实际上成为以上述转速(流量指令值)为优先的控制。只是,若在第一压力传感器28的检测值到达2.0MPa的情况下,转换为压力控制,使泵21的转速降低或使压力控制用的比例转换阀26工作,变更泵21的偏转角(进行截止控制),使排出量减少或停止排出。如图3所示,若可动盘17等上升而热板18a、18c的成形材料P与上方的热板18b、18c的下表面的冲压面抵接并且由配置在上升确认位置上的限位开关19b检测出热板封闭(热板18b、18c的下表面与成形材料P的抵接)的事实,则加压用液压缸14侧的油压与泵单元22侧的油压的压力差迅速缩小。在本实施方式中,从上述热板封闭之后使泵单元22侧的工作油的设定液压p1下降至0.5MPa,进行第一低压控制工序B(低压区域的加压工序)。此时通过电压控制使泵21的转速从2000rev/min下降至40rev/min,而通过利用伺服马达20能够迅速下降至指令的转速。而且,在由第二压力传感器33检测出的工作油的压力到达0.5MPa为止,泵21以40rev/min的转速旋转。从而,第一低压控制工序B以压力指令值为优先,但是加压用液压缸14侧的压力未必是恒定的,而最初伺服马达20的转速(流量指令值)是恒定的。在第一低压控制工序B开始时,从泵单元22的控制装置27向电磁转换阀25发出将泵21的偏转角从大偏转角转换为小偏转角的指令。但是,在该阶段泵21的偏转角仍是大偏转角。这是因为,在泵21的斜盘上向与泵单元22的偏转角控制用液压缸24相对的方向安装有稳定斜盘角度的弹簧,使得在低压(作为一例为2.0MPa以下)下斜盘的角度不变更。第一低压控制工序B从热板封闭后进行5~30秒左右,达到设定液压p1(压力指令值)。而且,在该热板封闭后或与模具接近后,设定泵21的伺服马达20的转速和设定液压p1,从而能够自由地控制第一低压控制工序B的压力和时间。第一低压控制工序B的设定液压p1(主要是泵单元22侧的工作油的设定液压p1)在作为泵单元22的控制的下限0.3MPa至2.0MPa之间选择,优选的是在0.3MPa至1.5MPa之间选择,在太阳能电池等的冲压成形的情况下更优选为在0.3MPa~0.8MPa之间选择。而且,泵21的转速为能够指令的下限的转速~1000rev/min以下,更优选为下限的转速~200rev/min以下。另一方面,在以往的使用压力控制阀等的液压冲压装置中存在如下问题,如图3的虚线所示即使在热板封闭的时刻停止大容量泵,也由于控制延迟等的问题而出现峰值压力,从而无法进行良好的低压控制。但是,本实施方式通过采用使用了伺服马达20的泵21在热板封闭后进行低压控制工序,从而能够如上所述灵敏地变更泵21的转速,随之能够控制加压用液压缸14的工作油的压力,因此不会出现如使用了图2中用实线表示的以往的泵的例子那样检测出峰值压力的情况。另外,在太阳能电池用的成形材料P的情况下,存在若从最初开始因峰值压力等而施加强压(以液压基准为2.0MPa以上),则容易出现空隙的问题。而且,若因为热膨胀的差异而在带元件玻璃上残留翘曲,则在对此处一下子施加强压时,加压力集中在带元件玻璃的一部分上,有可能发生破裂或裂纹等的不合格品。但是,在本发明中通过以设定液压2.0MPa以下的低压进行第一低压控制工序B及下一个第二低压控制工序D,从而几乎不会产生空隙或带元件玻璃的破裂和裂纹等。另外,在本实施方式中,加压用液压缸14的设定液压p1与直接施加在成形材料P上的表面压力p2的关系用以下公式表示。表面压力p2=(设定液压p1×液压缸加压面积a1-可动盘等的重量w)÷成形材料P的面积a2由此,施加在成形材料P上的表面压力p2相当低于加压用液压缸14的设定液压p1。这根据用于成形的热板18c的张数(层数)、成形材料P的重量及面积a2、工作油的设定液压p1及液压缸的加压面积a1的值也不同,而表面压力p2成为设定液压p1的25~60%。从而,若通过表面压力来控制本发明的低压区域的加压工序,则成为1.2MPa以下(0.5~1.2MPa)。如图3所示,在本实施方式中,第一低压控制工序B若由第二压力传感器33检测出的压力经过预定时间(作为一例为15秒)则结束,然后进行转向第二低压控制工序D的升压控制工序C。而且,第一低压控制工序B也可以在第一压力传感器33的值到达预定的检测值的时刻进行转换。在升压控制工序C中,从泵单元22的控制装置27向伺服马达20传送指令,使泵21的转速(流量指令值)增加到800rev/min。而且,根据设定液压p1的上升度,进行使压力指令值上升的控制以使由第二压力传感器33实际检测出的压力上升。即,泵21的转速设为上述的800rev/min,但是若第二压力传感器33的检测压力成为设定液压p1,则进行压力控制优先的闭环控制以使泵21的转速下降。另外,在第一低压控制工序B之后,工作油的流动量减少,并以电磁转换阀32为边界泵21侧的第一压力传感器28与加压用液压缸14侧的第二压力传感器33的差压变得非常小。第二低压控制工序D进行闭环控制以使加压用液压缸14的由第二压力传感器33检测出的设定液压p1(压力指令值)成为1.1MPa(表面压力0.5MPa),泵21的转速(流量指令值)仍为最大800rev/min。而且,在本实施方式中,第二低压控制工序D的时间为5分钟,优选为进行3分钟~20分钟。另外,也可以不分为第一低压控制工序B和第二低压控制工序D而是一次性进行低压控制工序。即,即使成为设定液压p1也不结束第一压力控制工序B,而是保持直到利用定时器经过预定时间后结束。另外,包含第二低压控制工序D的低压控制工序的设定液压p1优选为2.0MPa以下,更优选为1.5MPa以下。而且,在本实施方式的泵单元22的情况下,能够进行以设定液压0.3MPa以上的控制,所以下限为0.3MPa。另外,就包含第一低压控制工序B或第二低压控制工序D的低压控制工序B、D中的施加在成形材料P上的表面压力p2而言,优选为0.1MPa~1.0MPa,更优选为0.1MPa~0.7MPa。若第二低压控制工序D因时间已到而结束,则转向下一个加压保持控制工序F(相对高的高压区域的加压工序)进行升压控制工序E。此时,泵21的最大转速仍为800rev/min。在前半部分的第一升压控制工序E1中,在热板刚封闭之后继续发出将泵21的斜盘的角度变更为大偏转角的指令,而若输送到偏转角控制用液压缸24的工作油的压力超过2.0MPa,则泵21的偏转角才从大偏转角转换为小偏转角,转移到第二升压控制工序E2。若泵21的偏转角转换为小偏转角,则泵21旋转一圈时的排出量被控制成大偏转角时的1/4左右,从而不对泵21的伺服马达20施加大的负载就能使加压用液压缸14的加压用油室14a升压。另外,若在泵21与加压用液压缸14之间的主管路31上设置总是产生一定差压的机构等,则能够例如从第一低压控制工序B开始时将加压用液压缸14侧设为所需的低压并且将泵21的偏转角转换为小偏转角而进行控制。然后,在转移到升压控制工序E之后,用20秒~1分钟左右进行升压直到第二压力传感器33的检测压力成为预先设定的压力(在本实施方式中作为一例为3.1MPa),或者经过上述时间后,转移到加压保持控制工序F。在加压保持控制工序F中,从上一个工序继续通过压力优先的闭环控制而控制泵21的伺服马达20的旋转,以使第二压力传感器33的压力维持所设定的3.1MPa(换算成表面压力为1.5MPa)。具体而言,如下进行控制,若第二压力传感器33的值成为3.1MPa,则暂且中止伺服马达20的旋转,使泵21的伺服马达20仅旋转相当于因工作油从加压用液压缸14或阀32、35等泄漏而下降的压力的量。此时也可以设置一定的滞后值。即,也可以在以第二压力传感器33的值作为一例而成为低于设定液压p1的3.0MPa的时刻再开始进行泵21的旋转。在加压保持控制工序F中,泵21的偏转角照旧维持小偏转角,实际上泵21旋转的时间极短,因此,与如以往那样在加压保持控制工序F中至少使小容量泵继续旋转并将工作油放泄到油箱的情况相比,能够大幅度节省能量。根据估算,耗电量能够削减到1/6~1/9左右。另外,在加压保持控制工序F中为了对成形材料P进行加压,表面压力p2作为一例为1.5MPa,优选为用1.0~3.0MPa的表面压力p2对成形材料P进行加压。通过用上述表面压力进行加压,能够防止在太阳能电池用的成形材料P的带单元玻璃与密封材料之间、密封材料与保护薄膜之间等产生空隙。另外,在本实施方式中,加压保持控制工序F将热板18a、18b、18c的温度如上所述设定为150°C、优选为120°C~200°C左右、更优选为130°C~170°C并进行30分钟。而且,加压保持控制工序F的时间作为优选的范围进行5分钟~50分钟左右。只是,作为本发明将整体的加压工序H(从第一低压控制工序B到降压控制工序G的期间且还包含升压控制工序C、E等)设想为至少3分钟以上到5小时。如图2所示,若加压保持控制工序F的设定时间已到时间,则其次转移到降压控制工序G。在降压控制中从控制装置27向泵21的伺服马达20传送反转指令,并根据预先设定的压力下降度进行控制,以使用第二压力传感器33实际检测的压力下降。这样通过使用伺服马达20进行降压控制,能够进行准确的降压控制工序G。在本实施方式中,在降压工序中花费10分钟~30分钟使压力传感器的值减少并大致达到常压。而且,与降压控制工序G同时使制冷剂在热板内的通道中流通,使热板18a、18b、18c的温度从150°C下降到50°C。另外,在降压控制工序G中,既可以通过管路34使带流量调整阀的液压控制单向阀35流量为最小,对电磁转换阀36进行开闭控制,使其下降至所需的压力,也可以设置其他的阀而进行控制。而且,在加压用液压缸14的检测压力(第二压力传感器33)下降至预定的值,且控制装置30的定时器经过了预定的时间(作为一例为60分钟)之后,其次进行使可动盘17及热板18a、18c下降的下降控制工序(未图示)。可动盘17等的下降控制工序如下,从图1的状态对电磁转换阀进行励磁而关闭管路31,并且对电磁转换阀36进行去磁而打开带流量调整阀的液压控制单向阀35。于是,加压用液压缸14的压头15因可动盘17等的自重而下降并且加压用油室14a的工作油向油箱23返回。然后,若由限位开关19a检测出可动盘17下降至下限的事实,则对电磁转换阀37进行励磁而关闭管路34。而且,对于向真空室16内导入大气的真空破坏,在本实施方式中,就在加压用液压缸14的压力及热板温度完全下降之前开始进行,所以若可动盘17下降,则打开真空室16的门,并取出结束加压的成形材料P。本发明不限于上述控制,可以考虑各种应用。例如,升压控制工序C、E、降压控制工序G均不限于图3所示的图形,既可以用一个阶段甚至多个阶段进行升压或降压,也可以以曲线状进行升压或降压。另外,限位开关19b的位置也可以设置在热板封闭之前的位置,检测封闭之前的可动盘17的位置并使泵21的转速或设定液压p1减少。若这样设置,则能够以更低的速度进行热板封闭,因此抵接时对成形材料P的影响减小。而且,也可以由伺服马达20的转速的合计值计算出可动盘17的当前位置,并从此向低速上升(将偏转角从大偏转角向小偏转角转换及/或转速的变更)转移。另外,也可以在可动盘17与上盘13之间设置位置传感器,通过速度控制使可动盘17移动。另外,由第一压力传感器28及第二压力传感器33检测的检测值也可以用上述实施方式以外的形式用于控制。例如,可以利用第一压力传感器28的检测值进行所有的控制,也可以将两者的检测压力组合而使用。从而,在将可动盘17等抵接后的低压控制工序B、D中的设定压为2.0MPa以下或设定液压为1.5MPa以下的情况下所使用的压力传感器28、33可以是任意的压力传感器。所使用的泵21以轴向式活塞泵21为例进行了说明,但只要是能够对相当于旋转一圈的排出量进行控制和变更的泵21,则作为一例也可以是叶片泵。另外,用于泵21的马达适合使用伺服马达20,但只要是能够在转速的控制及一个成形循环中反复进行停止及驱动的马达,则作为一例也可以是变频控制马达。另外,泵21可以是双向排出型、单向排出型的任意的泵21。而且,在本实施方式中,对一台冲压装置11的加压用液压缸14供给工作油的泵21为一台,但是泵21不限于一台。例如,在900mm×1800mm之类的大型的太阳能电池的冲压装置11的情况下,设想加压用液压缸14也是2个~6个,泵21也是多个。此时,既可以与每个加压用液压缸14相对应而设置泵单元22,也可以利用伺服阀等流量控制阀等将泵单元22的工作油向各液压缸14分配。另外加压用液压缸14也可以是单作用液压缸以外的双作用液压缸。另外,也可以配置比较廉价且排出量大的未使用伺服马达的齿轮泵或活塞泵和利用伺服马达等能够变更排出量的泵这两者,在可动盘17等上升时主要使用上述未使用伺服马达的齿轮泵等,在上升结束之前或确认到上升结束之后停止上述未使用伺服马达的泵,利用使用伺服马达等的泵来进行控制。另外,就冲压装置11而言,从成形效率方面考虑优选是在多层热板之间放置成形材料P进行加压的结构,但也可以是在两张热板18的冲压面之间对成形材料P进行加压的结构。而且,冲压装置11也可以是上侧的热板18下降而进行加压的结构。另外,冲压装置11不限于冲压面为平坦的结构,也可以由曲面或凹凸面等形成,从而成形具有曲面或凹凸面等的成形品。而且,冲压装置11也可以是在水平方向上使可动盘17、模具、热板等移动而进行加压的结构。另外,由本发明成形的成形材料P设想是太阳能电池,但除此之外也可以是需要进行包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序且至少3分钟以上的加压工序,并且包含由作为脆性材料的生片等形成的层的电路板。而且,也可以是包含其他的作为脆性材料的通过强压而变形或折弯的金属部的电路板或电路板以外的成形材料P。在这些成形材料P中,由于因热引起的成形材料P翘曲的问题、热板18的平面度的问题、上盘13与可动盘17的平行度的问题等而在施加强压时产生破裂或裂纹等的不良,因此本发明很有效。另外,由本发明成形的成形材料也可以是多层基板的二次冲压装置等包含加热到软化点以上的温度的树脂材料的成形材料。在对这些软化点(无论是热塑性树脂、热固性树脂、或它们的混合物,通过施加压力而能够变形的温度点)以上的树脂进行加压的情况下,有时若在加压最初施加强压,则变得比所需的厚度更薄,或者必要部分的树脂向周围流动而成为不合格品。因此,重要的是在刚抵接之后防止产生峰值压力。而且,若是需要进行包含设定液压2MPa以下的低压区域的加压工序且至少3分钟以上的加压工序的成形材料,则也可以是其他成形材料。